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市面上最小的ALD，可放進(jìn)手套箱，來自美國哈佛的原子層沉積系統(tǒng)$n兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥，具有超快 MFC，用于集成惰性氣體吹掃。

勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們?cè)矶际且粯拥?，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)

小批量應(yīng)用的流延機(jī)，適合250mm載帶寬度，采取重力供應(yīng)漿料方式

CAM-C系列流延機(jī)面向較少資金投入的客戶設(shè)計(jì)，提供了更高的自動(dòng)化水平，更高的精度和緊湊型設(shè)計(jì)，是一個(gè)真正創(chuàng)新型流延機(jī)

PICOSUN R-200 標(biāo)準(zhǔn)型ALD系統(tǒng)，PICOSUN®R-200標(biāo)準(zhǔn)ALD系統(tǒng)適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā)，例如IC組件、MEMS器件、顯示器、LED、激光和3D對(duì)象，例如透鏡、光學(xué)器件、珠寶、硬幣和醫(yī)療植入物